Применение

ЭЛЕКТРОНИКА
И ПОЛУПРОВОДНИКИ

CMP-полировка, сапфир, кремний

Нанофракции 50–300 нм для CMP-полировки полупроводниковых подложек, сапфира, SiC. Сверхвысокая чистота, контроль агломерации, низкий счёт дефектов.

Проблемы и наши решения

Типичные проблемы

  • Дефекты поверхности подложек
  • Агломерация наночастиц
  • Высокие требования к чистоте

Как мы решаем

  • Проверенная система диспергирования
  • Чистота для CMP-процессов
  • Строгий контроль D50/D90

Технологические детали: электроника

Обработка материалов электронной промышленности (сапфировые подложки для светодиодов, SiC-вафли, керамика Al₂O₃ и AlN, стекло для дисплеев) требует прецизионного алмазного инструмента и микропорошка с нанометровой точностью. Шероховатость обработанной поверхности напрямую влияет на электрические характеристики полупроводниковых приборов, поэтому чистота и стабильность микропорошка имеют первостепенное значение.

Рекомендуемые фракции

  • W40 – W28 — резка и плоское шлифование сапфировых и SiC-подложек, снятие фаски
  • W20 – W10 — тонкое шлифование (lapping) вафель, снижение шероховатости перед полировкой
  • W7 – W3.5 — химико-механическая полировка (CMP), зеркальная поверхность Ra < 0.5 нм
  • W2.5 – W0.5 — финальная суперполировка для оптоэлектроники и силовых полупроводников

Чистота для электроники

Для электронной промышленности критично содержание металлических примесей: Fe, Ni, Co могут мигрировать в полупроводниковую структуру и вызывать утечки тока. Наш PCD-микропорошок имеет суммарное содержание Fe+Ni+Co < 65 ppm, что соответствует требованиям для обработки полупроводниковых материалов. Каждая партия проходит контроль на магнитные включения (< 0.1%) и гранулометрию. Для производств с высокими требованиями предлагаем дополнительную очистку и сертификацию по запросу.

О влиянии примесей Fe, Ni, Co на качество микропорошка читайте в специальной статье.

Рекомендуемая продукция

Микропорошки ISO 13320:2020

Премиальные микропорошки для PCD, высокая термостойкость, узкое распределение, низкие примеси, под заказ. Подробнее →

Алмазные суспензии

Готовые суспензии под ваш процесс. Подробнее →

Порошки для PCD/PDC

Спекание вставок, буровых долот. Подробнее →

Подберём марку под вашу задачу

Напишите в VK/MAX или отправьте заявку — предложим конкретную зернистость и форму.

Каталог От 1 кг WhatsApp