蓝宝石（Al₂O₃，莫氏9级）、熔融石英、火石玻璃（高折射率）和红外锗窗——这些材料无法用传统氧化物抛光。氧化铈只对软质玻璃（硼硅玻璃，莫氏5-6）有效；氧化铝、二氧化硅比蓝宝石软 2-4 倍——"在空气中蹭"，不切除材料。物理很简单：磨料必须比工件硬。唯一工业可用的、比蓝宝石硬的磨料——金刚石。
金刚石超精研机理
与砂轮磨削（磨粒在结合剂中起切削刃作用）不同，抛光时金刚石颗粒以游离态存在于悬浮液或抛光盘（沥青、锡盘、树脂盘）上。它们在表面滚动、微压入，每道次切除零点几微米厚。
工艺三阶段
| 阶段 | 粒度 | 目标 | 目标 Ra |
|---|---|---|---|
| 1. 粗研 | W14–W28 | 去除锯切损伤层 | 0.1–0.2 мкм |
| 2. 半精研 | W3.5–W7 | 消除上道划痕 | 0.02–0.05 мкм |
| 3. 精抛 | М1 / АСМ 0–1 | 无散射镜面 | <1 нм |
典型缺陷与原因
划痕——D97 没控住
蓝宝石衬底上平行划痕最常见的原因，是精抛阶段分布"尾巴"过宽。D50=1μm 但 D97=4μm 的粉末会留下细而可见的划痕。解决办法：换 D97≤2μm 的粉末，且换阶段时彻底清洗抛光盘。
雾面——粒度太细
精抛阶段若用太细的粒度（ASM 0/1），它不切除材料，只让表面塑性变形。抛一小时后零件发乌。必须退回 1-2 道，用更粗颗粒去除变形层。
橘皮——抛光盘过硬
锡盘或硬沥青盘上，个别颗粒嵌入过深变成切削刃，表面产生凹凸。换软蜡盘或树脂盘即可解决。
你的工艺该用哪种粉
- LED 蓝宝石衬底、表镜→半圆弧 M40/M42 精抛
- 熔融石英光学（紫外透镜、反射镜）→尖锐 W7 半精、ASM 0/1 精抛
- 锗/硅红外窗口→W14 粗研、M28 精抛
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